Počet záznamů: 1  

Conjugated Silicon–Based Polymer Resists for Nanotechnologies: EB and UV Meditated Degradation Processes in Polysilanes

  1. 1.
    SYSNO0341918
    NázevConjugated Silicon–Based Polymer Resists for Nanotechnologies: EB and UV Meditated Degradation Processes in Polysilanes
    Tvůrce(i) Schauer, F. (CZ)
    Schauer, Petr (UPT-D) RID, SAI, ORCID
    Kuřitka, I. (CZ)
    Hua, B. (CN)
    Zdroj.dok. Materials Transactions. Roč. 51, č. 2 (2010), s. 197-201. - : Japan Institute of Metals and Materials
    Druh dok.Článek v odborném periodiku
    Grant IAA100100622 GA AV ČR - Akademie věd
    CEZAV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
    Jazyk dok.eng
    Země vyd.JP
    Klíč.slova ultra violet degradability * polysilylenes * weak bond * conformation defect * nanorezists
    Trvalý linkhttp://hdl.handle.net/11104/0184761
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.