Two-dimensional dopant profiling with low energy SEM

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0308202
Název	Two-dimensional dopant profiling with low energy SEM
Překlad názvu	Tvorba dvourozměrných profilů dopantu s níkoenergiovým SEM
Tvůrce(i)	Mika, Filip (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Frank, Luděk (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID}
Zdroj.dok.	Journal of Microscopy. Roč. 230, č. 1 (2008), s. 76-83. - : Wiley
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	GA102/05/2327 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	GB
Klíč.slova	dopant contrast * low energy SEM * semiconductors
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0160756

Počet záznamů: 1