Počet záznamů: 1
Influence of substrate material on plasma in deposition/sputtering reactor: experiment and computer simulation
- 1.
SYSNO 0308150 Název Influence of substrate material on plasma in deposition/sputtering reactor: experiment and computer simulation Překlad názvu Vliv vzorku na plazma v depozičním/odprašovacím reaktoru: experiment a počítačová simulace Tvůrce(i) Brzobohatý, Oto (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Buršíková, V. (CZ)
Nečas, D. (CZ)
Valtr, M. (CZ)
Trunec, D. (CZ)Zdroj.dok. Journal of Physics D-Applied Physics. Roč. 41, č. 3 (2008), 035213:1-8. - : Institute of Physics Publishing Druh dok. Článek v odborném periodiku Grant GA202/07/1669 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Jazyk dok. eng Země vyd. GB Klíč.slova r. f. plasma * computer simulation * secondary electron emision * plasma deposition * plasma sputtering Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0160716
Počet záznamů: 1