CO2 Laser Photosensitized Decomposition of Diethylsilane for Deposition of SiXC1-X Coatings

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0164773
Název	CO2 Laser Photosensitized Decomposition of Diethylsilane for Deposition of SiXC1-X Coatings
Tvůrce(i)	Jakoubková, Marie (UCHP-M) Bastl, Zdeněk (UFCH-W)_{RID, ORCID} Šubrt, Jan (UACH-T)_{SAI, RID} Pokorná, Dana (UCHP-M)_{RID, SAI} Fajgar, Radek (UCHP-M)_{RID, ORCID, SAI} Pola, Josef (UCHP-M)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	ROMOPTO '94. Conference in Optics. Proceedings Series SPIE. s. 121-123, 2461 / Vlad V. I.. - Bellingham : SPIE, 1994
Konference	05.09.1994-08.09.1994, Bellingham, Conference in Optics ROMOPTO 94 /4./
Druh dok.	Abstrakt
Grant	IA47265 GA AV ČR - Akademie věd
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	US
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0061982

Počet záznamů: 1