Contrast Generation in Low Energy SEM Imaging of Doped Semiconductor

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0109047
Název	Contrast Generation in Low Energy SEM Imaging of Doped Semiconductor
Překlad názvu	Tvorba kontrastu při zobrazení dopovaného polovodiče v nízkoenergiovém REM
Tvůrce(i)	Mika, Filip (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Frank, Luděk (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID}
Zdroj.dok.	Proceedings of the 9th International Seminar Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. s. 51-52. - Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, 2004 / Müllerová I.
Konference	Recent Trends /9./ in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, Skalský Dvůr, 12.07.2004-16.07.2004
Druh dok.	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Grant	KJB2065301 GA AV ČR - Akademie věd
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	low energy SEM * doped semiconductor
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0016159

Počet záznamů: 1