Počet záznamů: 1

Modernizovaný elektronový litograf pro optické difraktivní struktury

SYSNO	0094701
Název	Modernizovaný elektronový litograf pro optické difraktivní struktury
Překlad názvu	Electron-beam writing system for diffractive optical elements
Tvůrce(i)	Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Matějka, František (UPT-D)_{RID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Vyd. údaje	2006
Int.kód	65701
Vlastník výsledku	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Technické parametry	Urychlovací napětí elektronové trysky 15 kV.
Ekonomické parametry	Elektronový litograf BS601M byl nainstalován ve firmě Optaglio v červenci roku 2006 kde nahradil obdobné zastaralé zařízení s horšími parametry.
Druh dok.	Poloprovoz, ověřená technol., odrůda, plemeno
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
Jazyk dok.	cze
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	electron beam writing system * diffractive optical element
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0154449

Počet záznamů: 1