Počet záznamů: 1  

Deposition of Organosilicon Polymer Thin Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

  1. 1.
    SYSNO0047572
    NázevDeposition of Organosilicon Polymer Thin Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
    Překlad názvuDepozice organosilikonových tenkých vrstev pomocí PECVD
    Tvůrce(i) Zajíčková, L. (CZ)
    Buršíková, V. (CZ)
    Sťahel, P. (CZ)
    Buršík, Jiří (UFM-A) RID, ORCID
    Peřina, Vratislav (UJF-V) RID
    Macková, Anna (UJF-V) RID, ORCID, SAI
    Dubroka, A. (CZ)
    Vyd. údajePardubice: Univerzita Pardubice, 2006
    Konference International Conference of Solid State Chemistry /7./, Pardubice, 24.09.2006-29.09.2006
    Druh dok.Konferenční sborník (tuzemská konf.)
    CEZAV0Z10480505 - UJF-V (2005-2011)
    AV0Z20410507 - UFM-A (2005-2011)
    Jazyk dok.eng
    Země vyd.CZ
    Klíč.slova organosilicon polymers * PECVD * surface analyses
    Trvalý linkhttp://hdl.handle.net/11104/0138433
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.