Microwave PECVD of nanocrystalline diamond with rf induced bias nucleation

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0043825
Název	Microwave PECVD of nanocrystalline diamond with rf induced bias nucleation
Překlad názvu	Depozice nanokystalického diamantu metodou mikrovlnného PECVD s nukleací pomocí rf predpětí
Tvůrce(i)	Frgala, Z. (CZ) Jašek, O. (CZ) Karásková, M. (CZ) Zajíčková, L. (CZ) Buršíková, V. (CZ) Franta, D. (CZ) Matějková, Jiřina (UPT-D) Rek, Antonín (UPT-D)_RID Klapetek, P. (CZ) Buršík, Jiří (UFM-A)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	Czechoslovak Journal of Physics. Roč. 56, Suppl. B (2006), s. 1218-1223. - : Springer
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	GA202/05/0607 GA ČR - Grantová agentura ČR, CZ - Česká republika
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
	AV0Z20410507 - UFM-A (2005-2011)
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	nanocrystalline diamond * plasma enhanced chemical vapor deposition * self-bias
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0003707

Počet záznamů: 1