Počet záznamů: 1
Microwave PECVD of nanocrystalline diamond with rf induced bias nucleation
- 1.
SYSNO 0043825 Název Microwave PECVD of nanocrystalline diamond with rf induced bias nucleation Překlad názvu Depozice nanokystalického diamantu metodou mikrovlnného PECVD s nukleací pomocí rf predpětí Tvůrce(i) Frgala, Z. (CZ)
Jašek, O. (CZ)
Karásková, M. (CZ)
Zajíčková, L. (CZ)
Buršíková, V. (CZ)
Franta, D. (CZ)
Matějková, Jiřina (UPT-D)
Rek, Antonín (UPT-D) RID
Klapetek, P. (CZ)
Buršík, Jiří (UFM-A) RID, ORCIDZdroj.dok. Czechoslovak Journal of Physics. Roč. 56, Suppl. B (2006), s. 1218-1223. - : Springer Druh dok. Článek v odborném periodiku Grant GA202/05/0607 GA ČR - Grantová agentura ČR, CZ - Česká republika CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) AV0Z20410507 - UFM-A (2005-2011) Jazyk dok. eng Země vyd. CZ Klíč.slova nanocrystalline diamond * plasma enhanced chemical vapor deposition * self-bias Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0003707
Počet záznamů: 1