Počet záznamů: 1
Controlled structuring of self-assembled polystyrene microsphere arrays by two different plasma systems
- 1.
SYSNO ASEP 0486284 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Controlled structuring of self-assembled polystyrene microsphere arrays by two different plasma systems Tvůrce(i) Domonkos, Mária (FZU-D) RID
Ižák, Tibor (FZU-D) RID
Stolcova, L. (CZ)
Proška, J. (CZ)
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 5 Zdroj.dok. NANOCON 2013 - 5th International Conference Proceedings. - Ostrava : TANGER Ltd, 2014 - ISBN 978-80-87294-47-5 Rozsah stran s. 34-38 Poč.str. 5 s. Forma vydání Online - E Akce 5th International Conference Nanocon 2013 Datum konání 16.10.2013 - 18.10.2013 Místo konání Brno Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova nanosphere lithography ; reactive ion etching ; pulsed linear-antenna microwave plasma ; polystyrene microspheres ; Langmuir-Blodgett monolayers Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus Obor OECD Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.) CEP GAP108/12/0910 GA ČR - Grantová agentura ČR Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 UT WOS 000352070900004 EID SCOPUS 84929428386 Anotace In this study we present a successful manipulation of microspheres by reactive ion etching (RIE). A self-assembled monolayer close-packed array of monodisperse polystyrene microspheres (PM) with diameter of 471 nm was used as the primary template. The PM templates were processed in two different RIE systems: (i) capacitively coupled radiofrequency plasma (CCP) and (ii) dual plasma system which combines CCP and pulsed linear-antenna microwave plasma (PLAMWP). The influence of process conditions on the PM geometry was systematically studied by scanning electron microscopy (SEM). It was found out that choosing optimal parameters results in a tunable diameter of PM with various shapes (from spheres to pyramid-like structures) while keeping their periodic hexagonal ordering. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2019
Počet záznamů: 1