Počet záznamů: 1
Robust Local Thickness Estimation of Sub-Micrometer Specimen by 4D-STEM
- 1.
SYSNO ASEP 0579321 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Robust Local Thickness Estimation of Sub-Micrometer Specimen by 4D-STEM Tvůrce(i) Skoupý, Radim (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Boltje, D. B. (NL)
Šlouf, Miroslav (UMCH-V) RID, ORCID
Mrázová, Kateřina (UPT-D) SAI, ORCID, RID
Láznička, Tomáš (UPT-D) ORCID, RID, SAI
Taisne, C. M. (NL)
Krzyžánek, Vladislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hoogenboom, J. P. (NL)
Jakobi, A. J. (NL)Celkový počet autorů 9 Číslo článku 2300258 Zdroj.dok. Small Methods. - : Wiley - ISSN 2366-9608
Roč. 7, č. 9 (2023)Poč.str. 11 s. Forma vydání Online - E Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova 4D-STEM ; cryo-ET ; FIB milling ; TEM analysis Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika Obor OECD Electrical and electronic engineering CEP GA21-13541S GA ČR - Grantová agentura ČR TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR Způsob publikování Open access Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 ; UMCH-V - RVO:61389013 UT WOS 000997748800001 EID SCOPUS 85160667652 DOI 10.1002/smtd.202300258 Anotace A quantitative four-dimensional scanning transmission electron microscopy (4D-STEM) imaging technique (q4STEM) for local thickness estimation across amorphous specimen such as obtained by focused ion beam (FIB)-milling of lamellae for (cryo-)TEM analysis is presented. This study is based on measuring spatially resolved diffraction patterns to obtain the angular distribution of electron scattering, or the ratio of integrated virtual dark and bright field STEM signals, and their quantitative evaluation using Monte Carlo simulations. The method is independent of signal intensity calibrations and only requires knowledge of the detector geometry, which is invariant for a given instrument. This study demonstrates that the method yields robust thickness estimates for sub-micrometer amorphous specimen using both direct detection and light conversion 2D-STEM detectors in a coincident FIB-SEM and a conventional SEM. Due to its facile implementation and minimal dose reauirements, it is anticipated that this method will find applications for in situ thickness monitoring during lamella fabrication of beam-sensitive materials. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2024 Elektronická adresa https://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/smtd.202300258
Počet záznamů: 1