Počet záznamů: 1
Effects of metal layers on chemical vapor deposition of diamond films
- 1.
SYSNO ASEP 0570909 Druh ASEP A - Abstrakt Zařazení RIV O - Ostatní Název Effects of metal layers on chemical vapor deposition of diamond films Tvůrce(i) Izsák, Tibor (FZU-D) ORCID
Vanko, G. (SK)
Babčenko, Oleg (FZU-D) ORCID
Zaťko, B. (SK)
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 5 Zdroj.dok. NANOCON 2022 - Book of Abstracts. - Ostrava : Tanger Ltd, 2022 / Zbořil R. ; Váňová J. - ISBN 978-80-88365-07-5
S. 68-68Poč.str. 1 s. Forma vydání Online - E Akce International Conference on Nanomaterials - Research & Application /14./ NANOCON Datum konání 19.10.2022 - 21.10.2022 Místo konání Brno Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova diamond ; CVD ; metallization ; iridium ; Raman ; SEM Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus Obor OECD Materials engineering CEP LM2018110 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy LUASK22147 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Anotace Here, we present the influence of thin metal (Ni, Ir, Au) layers on diamond growth by MWCVD employing two different concepts. In the first concept, a flat substrate (GaN) was initially coated with a thin metal layer, then exposed to the diamond MWCVD process. In the second concept, the thin diamond film was firstly formed, then it was overcoated with the metal layer and finally, once again exposed to the diamond MWCVD. It was confirmed that the Ni films hinder the formation of diamond crystals resulting in the formation of an amorphous carbon layer. Contrary to this finding, the Ir layer resulted in a successful overgrowth by the fully closed diamond film. However, by employing concept 2, the thin Ir layer was found to be unstable and transferred into the isolated clusters, which were overgrown by the diamond film. Using the Au/Ir (30/15 nm) bilayer system stabilized the metallization and no diamond growth was observed on the metal layer. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2024
Počet záznamů: 1