Počet záznamů: 1
Příprava DOE generujících korigovaný gaussovský svazek pro aplikace s vysoce výkonnými lasery
- 1.
SYSNO ASEP 0559083 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Ostatní články Název Příprava DOE generujících korigovaný gaussovský svazek pro aplikace s vysoce výkonnými lasery Překlad názvu The fabrication of DOE for Gaussian beam adjustment in the field of high power lasers Tvůrce(i) Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Venos, Š. (CZ)
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Pokorný, Pavel (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Úlehla, L. (CZ)Zdroj.dok. Jemná mechanika a optika. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - ISSN 0447-6441
Roč. 67, č. 6 (2022), s. 138-141Poč.str. 4 s. Forma vydání Tištěná - P Jazyk dok. cze - čeština Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova diffractive optical element ; grayscale e-beam lithography ; glass etching ; Gaussian beam ; laser beam machining Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery Obor OECD Optics (including laser optics and quantum optics) CEP FV40197 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu Způsob publikování Omezený přístup Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Anotace Pro obrábění pomocí vysoce výkonných laserů je výhodné používat svazky s vyšší hloubkou ostrosti. Osový intenzitní profil Gaussovského laserového svazku je proto nutné upravit. Jedním z možných řešení je použití difrakčního optického elementu (DOE), který bude vstupní Gaussovský svazek korigovat žádaným způsobem. Tento článek se zabývá návrhem a realizací DOE pro korekci Gaussovského laserového svazku pracujícího na vlnové délce 1030 nm. Pro návrh korekčního DOE byl využit software Wolfram Mathematica. DOE byl navržen jako víceúrovňový. K realizaci se využily dva přístupy. Prvním z nich byla reliéfní elektronová litografie, kdy se daný DOE připravil pouze v rámci rezistové vrstvy. Druhým přístupem bylo mokré leptání přes kovovou masku. Na experimentální sestavě proběhlo měření obou připravených vzorků. Naměřená data se následně srovnala nejen mezi sebou, ale i s teoretickým návrhem. Překlad anotace It is very convenient to use beams with higher depth of focus for laser beam machining. It is necessary to adjust the axis intensity profile of Gaussian laser beam. One of the possible solutions is the using of diffractive optical element (DOE) to ensure we get desired intensity profile. This paper deals with the design and fabrication of DOE for Gaussian beam adjustment operating at the wavelength of 1030 nm. Mathematica software was used for the design of four level DOE. Two different approaches were used for the fabrication, grayscale e-beam lithography and wet etching over the metal mask. Measurement of both samples was carried out on experimental setup. Results were compared with theoretical design. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2023 Elektronická adresa https://jmo.fzu.cz/sites/jmo.fzu.cz/files/oldweb/2022/2022-06/jmo_22_06_obsah.pdf
Počet záznamů: 1