Počet záznamů: 1
Skleněná maska se sub mikronovými otvory
- 1.
SYSNO ASEP 0551708 Druh ASEP O - Ostatní výsledky Zařazení RIV O - Ostatní Název Skleněná maska se sub mikronovými otvory Překlad názvu Glass mask with sub micron pinholes Tvůrce(i) Brunn, Ondřej (UPT-D) RID, ORCID
Burda, Daniel (UPT-D)
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kopal, Jaroslav (UPT-D)Rok vydání 2021 Jazyk dok. cze - čeština Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova pinhole ; mask ; electron lithography Vědní obor RIV JJ - Ostatní materiály Obor OECD Nano-processes (applications on nano-scale) CEP TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Anotace BRUNN, Ondřej, BURDA, Daniel, KOLAŘÍK, Vladimír, KOPAL, Jaroslav. Skleněná maska se sub mikronovými otvory. 2021. Pomocí elektronové litografie je běžné realizovat ve vrstvě elektronového rezistu tloušťky několika stovek nanometrů otvory s průměrem pod mikrometr, při vysokém urychlovacím napětí i pod sto nanometrů. Otázkou je, do jaké neprůhledné vrstvy (materiál, tloušťka) se motiv rezistové masky přenáší. Obecně lze říct, že čím tenčí je neprůhledná vrstva, tím věrnější je přenos geometrie otvoru. Další omezení spočívá v dostupných leptacích technikách pro požadované materiály, z nichž je tvořena nepropustná vrstva. Překlad anotace BRUNN, Ondřej, BURDA, Daniel, KOLAŘÍK, Vladimír, KOPAL, Jaroslav. Skleněná maska se sub mikronovými otvory. 2021. Using electron lithography, it is common to realize several thicknesses in the electron resist layer hundreds of nanometers holes with a diameter below micrometer, at high accelerating voltage even below one hundred nanometers. The question is what opaque layer (material, thickness) the motif of the resist mask transmits. In general, the thinner the opaque layer, the more faithful the geometry transfer hole. Another limitation lies in the available etching techniques for the required materials, of which an impermeable layer is formed. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2022
Počet záznamů: 1