Počet záznamů: 1

Manipulátor s mikrometrickým posuvem pro miniaturizovaný spektrometr sekundárních elektronů

SYSNO ASEP	0550826
Druh ASEP	L - Prototyp, funkční vzorek
Zařazení RIV	G - Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)
Poddruh RIV	Funkční vzorek
Název	Manipulátor s mikrometrickým posuvem pro miniaturizovaný spektrometr sekundárních elektronů
Překlad názvu	Manipulator with micrometric shift for a miniaturised secondary electron spectrometer
Tvůrce(i)	Mika, Filip (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Pokorná, Zuzana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Dupák, Libor (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Rok vydání	2021
Int.kód	APL-2021-06
Technické parametry	Manipulátor držáku vzorku tvaru pravidelného osmihranu, kde pojezdy jsou realizovány formou tří bronzových pružin. Ty svírají mezi sebou úhel 120°, přičemž umožňují posun v rozsahu +- 1mm s přesností 10μm v každé ose nezávisle.
Ekonomické parametry	Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika, Ph.D., fumici@isibrno.cz.
Název vlastníka	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
IČ vlastníka	68081731
Kat.výsl.dle nákl.	A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč
Požad. na licenč. popl.	A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek
Číselná identifikace	APL-2021-06
Jazyk dok.	cze - čeština
Země vlastníka	CZ - Česká republika
Klíč. slova	manipulator ; scanning electron microscope ; secondary electron spectrometer
Vědní obor RIV	JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Obor OECD	Materials engineering
CEP	TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Anotace	Manipulátor je součástí pozorovací komory miniaturizovaného spektrometru sekundárních elektronů, tak aby díky němu nebyla omezena zkoumaná oblast polovodičového vzorku na velikost aktuálního zorného pole elektronového mikroskopu. Je tak možné mapovat velké plochy dopovaných struktur na vzorku a rovněž zacílit oblast zájmu pod primární svazek elektronů.
Překlad anotace	The manipulator is a part of the observation chamber of the miniaturised secondary electron spectrometer, allowing it to observe an arbitrarily large area of the sample without field of view limitations imposed by the narrow entrance aperture of the spectrometer. Thanks this it is possible to map doped structures on a large scale and also to move any area of interest under the incoming electron beam with great precision.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2022

Počet záznamů: 1