Počet záznamů: 1

Beam shaping and probe characterization in the scanning electron microscope

SYSNO ASEP	0543063
Druh ASEP	J - Článek v odborném periodiku
Zařazení RIV	J - Článek v odborném periodiku
Poddruh J	Článek ve WOS
Název	Beam shaping and probe characterization in the scanning electron microscope
Tvůrce(i)	Řiháček, Tomáš (UPT-D)_{RID, ORCID} Horák, M. (CZ) Schachinger, T. (AT) Mika, Filip (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Fořt, Tomáš (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Radlička, Tomáš (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Johnson, C. W. (US) Novák, L. (CZ) Seďa, B. (CZ) McMorran, B.J. (US) Müllerová, Ilona (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID}
Celkový počet autorů	13
Číslo článku	113268
Zdroj.dok.	Ultramicroscopy. - : Elsevier - ISSN 0304-3991 Roč. 225, June (2021)
Poč.str.	9 s.
Forma vydání	Tištěná - P
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	NL - Nizozemsko
Klíč. slova	Electron diffraction ; SEM ; Electron beam structuring ; Spot shape measurement ; Electron vortex beam
Vědní obor RIV	BF - Elementární částice a fyzika vys. energií
Obor OECD	Particles and field physics
CEP	TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
Způsob publikování	Open access
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
UT WOS	000649633800002
EID SCOPUS	85104406836
DOI	10.1016/j.ultramic.2021.113268
Anotace	Here we demonstrate the use of nanofabricated grating holograms to diffract and shape electrons in a scanning electron microscope. The diffraction grating is placed in an aperture in the column. The entire diffraction pattern can be passed through the objective lens and projected onto the specimen, or an intermediate aperture can be used to select particular diffracted beams. We discuss several techniques for characterizing the diffraction pattern. The grating designs can incorporate features that can influence the phase and intensity of the diffracted SEM probe. We demonstrate this by producing electron vortex beams.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2022
Elektronická adresa	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0304399121000589

Počet záznamů: 1