Počet záznamů: 1
Comparison of Three Focus Sensors for Optical Measurement of Rough Surface Topography
- 1.
SYSNO ASEP 0536751 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Comparison of Three Focus Sensors for Optical Measurement of Rough Surface Topography Tvůrce(i) Šarbort, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Holá, Miroslava (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Pavelka, Jan (UPT-D) RID, SAI
Řeřucha, Šimon (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Oulehla, Jindřich (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Fořt, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 7 Zdroj.dok. Imaging and Applied Optics Congress. Proceedings, Computational Optical Sensing and Imaging. - Washington : OSA, 2020 - ISBN 978-1-943580-77-4 Poč.str. 2 s. Forma vydání Tištěná - P Akce Imaging and Applied Optics Congress Datum konání 22.06.2020 - 26.06.2020 Místo konání Washington Země US - Spojené státy americké Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova focus sensor ; optical metrology ; rough topography Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery Obor OECD Optics (including laser optics and quantum optics) CEP TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR EF16_026/0008460 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 EID SCOPUS 85102411634 DOI 10.1364/DH.2020.HTh5H.2 Anotace We compare three focus sensors designed for the optical topography measurement of rough surface specimens with submicron accuracy. The laser beam was modulated by three specific computer-generated holograms displayed on a spatial light modulator. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2021 Elektronická adresa https://www.osapublishing.org/abstract.cfm?URI=DH-2020-HTh5H.2
Počet záznamů: 1