Počet záznamů: 1
Variabilní objektivová čočka
- 1.
SYSNO ASEP 0536667 Druh ASEP O - Ostatní výsledky Zařazení RIV O - Ostatní Název Variabilní objektivová čočka Překlad názvu Variable objective lens Tvůrce(i) Radlička, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Oral, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Řiháček, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID
Seďa, B. (CZ)
Vašina, R. (CZ)Celkový počet autorů 5 Rok vydání 2020 Jazyk dok. cze - čeština Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova scanning electron microscope ; variable objective lens ; secondary ; secondary electrons ; resolution Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika Obor OECD Electrical and electronic engineering CEP TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Anotace Zpráva popisující design extenderu objektivové čočky a optické vlastností takového systému. Extender je prstenec s upínacím mechanizmem, který se umístí na spodní pól objektivové čočky skenovacího elektronového mikroskopu. Extender je vyroben z magneticky vodivého materiálu – permalloy Ni48. Pomocí extenderu se změní parametry magnetického imerzního pole objektivové čočky: maximální magnetická indukce a poloha tohoto maxima. Vedle změny parametrů magnetické finální čočky se také změní vlastnosti elektrostatické finální čočky. Pomocí extenderu je možné získat lepší laterální rozlišení a změnu v akceptaci signálních elektronů na detektorech umístěných v tubusu mikroskopu. Ve zprávě je popsán způsob optimalizace extenderu a nalezení vhodných operačních podmínek. Cílem je nalezení režimu s co nejmenší velikostí stopy svazku na vzorku se současnou optimalizovanou detekcí signálních elektronů (velká účinnost a oddělení sekundárních elektronů a zpětně odražených elektronu). Elektronově optické výpočty byly také porovnány s experimentální měření. Překlad anotace The report deals with the objective lens extender's design and the calculation of this system's electron-optical properties. The extender is a ring with a fixing mechanism placed on the objective lens pole piece of the scanning electron microscope's objective lens. It changes objective lens parameters: (a) value and position of maximal magnetic flux density (b) electrostatic field of the objective lens in the deceleration regime. The extender system provides better resolution and detection of signal electrons by the in-lens detector of the microscope. The report describes the extender's optimization and the scanning electron microscope's operation regime with the extender. The main goal is to reach the smallest spot size with optimized detection of signal electrons (high collection efficiency and separation of the secondary electron from the rest of spectra). We compare the results of electron-optical calculation with experimental data. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2021
Počet záznamů: 1