Počet záznamů: 1
SMV-2020-23: Vývoj testovacích preparátů pro REM
- 1.
SYSNO ASEP 0536616 Druh ASEP V - Výzkumná zpráva Zařazení RIV V – výzkumná zpráva Název SMV-2020-23: Vývoj testovacích preparátů pro REM Překlad názvu SMV-2020-23: Development of test specimens for SEM Tvůrce(i) Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Meluzín, Petr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Pokorná, Zuzana (UPT-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 7 Vyd. údaje Brno: Tescan Brno s.r.o., 2020 Poč.str. 8 s. Forma vydání Tištěná - P Jazyk dok. cze - čeština Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova relief structure: e-beam lithography ; silicon etching ; microlithography Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery Obor OECD Nano-processes (applications on nano-scale) Další zdroj neveřejné zdroje Anotace Vývoj přesných reliéfních struktur v křemíku určených pro testování zobrazování v rastrovacích elektronových mikroskopech (REM). Pro přípravu preparátů byly využity mikro litografické techniky opracování křemíku. Byly vyvinuty přípravky pro technologické operace depozice rezistu a pro operace leptání. Optimalizace bylo dosaženo i v oblasti transferu reliéfní struktury do křemíkové podložky při anizotropním leptání, díky modifikacím leptací aparatury. Pro kontrolu a vyhodnocení jakosti čipů mezi jednotlivými technologickými operacemi byly vyvinuty standardizované postupy. Překlad anotace Development in the field realization of precise relief structures in the silicon dedicated to the testing of the scanning electron microscopes (SEM) deflection field and accuracy. Micro-lithographic techniques for the recording of patterns in the silicon were used. New tools for handling during technological operations of resist deposition and etching were developed. Optimization was reached in the process of transfer of the relief structure into silicon via anisotropic etching, due modification of etching apparatus. Standardized procedures for inspection and quality control were developed. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2021
Počet záznamů: 1