Počet záznamů: 1

Speciální fotomaska pro měření zkreslení rekonstrukce obrazu

SYSNO ASEP	0536218
Druh ASEP	L - Prototyp, funkční vzorek
Zařazení RIV	G - Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)
Poddruh RIV	Funkční vzorek
Název	Speciální fotomaska pro měření zkreslení rekonstrukce obrazu
Překlad názvu	Special photomask for image distortion measurement of projection optics
Tvůrce(i)	Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Fořt, Tomáš (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Úlehla, L. (CZ) Moťka, L. (CZ)
Celkový počet autorů	6
Rok vydání	2020
Int.kód	APL-2020-04
Technické parametry	Motiv kovové masky obsahuje matici přesně velikých čtvercových útvarů sloužících ke kontrole nastavení výrobního procesu
Ekonomické parametry	Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Stanislav Krátký, kratky@isibrno.cz
Název vlastníka	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
IČ vlastníka	68081731
Kat.výsl.dle nákl.	A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč
Požad. na licenč. popl.	A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek
Číselná identifikace	APL-2020-04
Jazyk dok.	cze - čeština
Země vlastníka	CZ - Česká republika
Klíč. slova	e–beam lithography ; reactive ion etching
Vědní obor RIV	JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Obor OECD	Optics (including laser optics and quantum optics)
CEP	TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Anotace	Speciálně navržená fotomaska vyrobená elektronovou litografií poskytuje cenný nástroj pro ultra přesné měření zkreslení obrazu v čočkové sestavě optické litografie. Maska je nezbytnou součástí nastavení měření projekční čočky.
Překlad anotace	Specially designed photomask produced by an electron lithography provides a valuable tool for ultra precision measurement of lithography lens image distortion. The mask is an essential part of a projection lens measuring setup.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2021

Počet záznamů: 1