Počet záznamů: 1
Nanoscale Estimation of Coating Thickness on Substrates via Standardless BSE Detector Calibration
- 1.
SYSNO ASEP 0525112 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Nanoscale Estimation of Coating Thickness on Substrates via Standardless BSE Detector Calibration Tvůrce(i) Skoupý, Radim (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Fořt, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Krzyžánek, Vladislav (UPT-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 3 Číslo článku 332 Zdroj.dok. Nanomaterials. - : MDPI
Roč. 10, č. 2 (2020)Poč.str. 11 s. Forma vydání Tištěná - P Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CH - Švýcarsko Klíč. slova SEM ; quantitative imaging ; back-scattered electrons ; standardless calibration ; electron mirror ; sample bias ; Monte Carlo simulation ; thin coating layers Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika Obor OECD Nano-materials (production and properties) CEP GA17-15451S GA ČR - Grantová agentura ČR FV30271 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu Způsob publikování Open access Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 UT WOS 000522456300151 EID SCOPUS 85079696006 DOI 10.3390/nano10020332 Anotace The thickness of electron transparent samples can be measured in an electron microscope using several imaging techniques like electron energy loss spectroscopy (EELS) or quantitative scanning transmission electron microscopy (STEM). We extrapolate this method for using a back-scattered electron (BSE) detector in the scanning electron microscope (SEM). This brings the opportunity to measure the thickness not just of the electron transparent samples on TEM mesh grids, but, in addition, also the thickness of thin films on substrates. Nevertheless, the geometry of the microscope and the BSE detector poses a problem with precise calibration of the detector. We present a simple method which can be used for such a type of detector calibration that allows absolute (standardless) measurement of thickness, together with a proof of the method on test samples. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2021 Elektronická adresa https://www.mdpi.com/2079-4991/10/2/332
Počet záznamů: 1