Počet záznamů: 1
Automated inspection of PMMA coating on non-patterned silicon wafers
- 1.
SYSNO ASEP 0511777 Druh ASEP A - Abstrakt Zařazení RIV Záznam nebyl označen do RIV Zařazení RIV Není vybrán druh dokumentu Název Automated inspection of PMMA coating on non-patterned silicon wafers Tvůrce(i) Knápek, Alexandr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Drozd, Michal (UPT-D)
Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Král, Stanislav (UPT-D) RID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 6 Zdroj.dok. 11th International Conference on Instrumental Methods of Analysis: Modern Trends and Applications, IMA-2019. Book of abstracts. - - : -, 2019
S. 162Poč.str. 1 s. Forma vydání Tištěná - P Akce International Conference on Instrumental Methods of Analysis: Modern Trends and Applications /11./ Datum konání 22.09.2019 - 25.09.2019 Místo konání Ioannina Země GR - Řecko Typ akce EUR Jazyk dok. eng - angličtina Klíč. slova dielectric surface inspection ; resist coated wafer Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika Obor OECD Nano-processes (applications on nano-scale) CEP FV10618 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2020
Počet záznamů: 1