Počet záznamů: 1

Automated inspection of PMMA coating on non-patterned silicon wafers

SYSNO ASEP	0511777
Druh ASEP	A - Abstrakt
Zařazení RIV	Záznam nebyl označen do RIV
Zařazení RIV	Není vybrán druh dokumentu
Název	Automated inspection of PMMA coating on non-patterned silicon wafers
Tvůrce(i)	Knápek, Alexandr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Drozd, Michal (UPT-D) Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Král, Stanislav (UPT-D)_{RID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Celkový počet autorů	6
Zdroj.dok.	11th International Conference on Instrumental Methods of Analysis: Modern Trends and Applications, IMA-2019. Book of abstracts. - - : -, 2019 S. 162
Poč.str.	1 s.
Forma vydání	Tištěná - P
Akce	International Conference on Instrumental Methods of Analysis: Modern Trends and Applications /11./
Datum konání	22.09.2019 - 25.09.2019
Místo konání	Ioannina
Země	GR - Řecko
Typ akce	EUR
Jazyk dok.	eng - angličtina
Klíč. slova	dielectric surface inspection ; resist coated wafer
Vědní obor RIV	JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Obor OECD	Nano-processes (applications on nano-scale)
CEP	FV10618 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2020

Počet záznamů: 1