Počet záznamů: 1
Creation and detection of electron vortex beams in a scanning electron microscope
- 1.
SYSNO ASEP 0510323 Druh ASEP A - Abstrakt Zařazení RIV Záznam nebyl označen do RIV Zařazení RIV Není vybrán druh dokumentu Název Creation and detection of electron vortex beams in a scanning electron microscope Tvůrce(i) Řiháček, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID
Mika, Filip (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Horák, M. (CZ)
Schachinger, T. (AT)
Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Müllerová, Ilona (UPT-D) RID, SAI, ORCIDCelkový počet autorů 7 Zdroj.dok. Microscopy Conference: MC 2019. Abstracts. - Berlin : DSE, 2019
S. 409-410Poč.str. 2 s. Forma vydání Online - E Akce Microscopy Conference : MC 2019 Datum konání 01.09.2019 - 05.09.2019 Místo konání Berlin Země DE - Německo Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. DE - Německo Klíč. slova detection of electron vortex beams ; SEM Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika Obor OECD Nano-materials (production and properties) CEP TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Anotace Although knowledge on electron vortex beams (EVB) has significantly developed since their first experimental observation, all experiments and applications have been considered almost solely in the (scanning) transmission electron microscope ((S)TEM). Our aim is to apply this tool in the scanning electron microscope (SEM).
Determining the probe structure in SEM is rather challenging task since there is no conventional tool for visualizing the spot. Scanning over a sample, which consists of an appropriate contrasting pattern, and collecting secondary electrons (SE) can be used. Since the contrasting structure effectively serves as a detector, we further refer it as a detection structure (DS). To reach better resolution of the beam structure, dimensions of DS must be significantly
reduced. However, the measured signal decreases with diminishing surface area of DS. For small DS size and low current, this method does not provide a sufficiently strong signal.Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2020
Počet záznamů: 1