Počet záznamů: 1
Carbon overlayer from hydrocarbon precursors: Electron-beam-induced deposition/removal
- 1.
SYSNO ASEP 0501304 Druh ASEP A - Abstrakt Zařazení RIV Záznam nebyl označen do RIV Zařazení RIV Není vybrán druh dokumentu Název Carbon overlayer from hydrocarbon precursors: Electron-beam-induced deposition/removal Tvůrce(i) Frank, Luděk (UPT-D) RID, SAI, ORCID Celkový počet autorů 1 Zdroj.dok. 16th International Conference on Emerging Materials and Nanotechnology. Proceedings, S7. - London : Omics International, 2018 - ISSN 2169-0022
S. 54Poč.str. 1 s. Forma vydání Tištěná - P Akce International Conference on Emerging Materials and Nanotechnology /16./ Datum konání 22.03.2018 - 23.03.2018 Místo konání London Země GB - Velká Británie Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. GB - Velká Británie Klíč. slova Electron-beam-induced ; carbon overlayer Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika Obor OECD Nano-processes (applications on nano-scale) Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 DOI 10.4172/2169-0022-C2-093 Anotace The creation of various nanostructures on surfaces by means of the electron-beam-induced deposition of carbon from hydrocarbon precursors has proven to be a productive nanotechnological tool. On the other hand, the same phenomenon represents an unpleasant challenge when operating a scanning electron microscope with the usual standard vacuum in the specimen chamber. Even under ultrahigh vacuum conditions, a successful solution has to include in-situ cleaning of the surface under observation. Our experiments have revealed the phenomenon to be crucially dependent on the energy of incident electrons to such an extent that deposition can be converted to removal of the precursors, thereby preventing carbon coating. In addition to the electron energy, other important governing factors have been identified including the electron dose, the electron current, the electric field above the surface in question and the presence of a gas such as oxygen. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2019
Počet záznamů: 1