Počet záznamů: 1
Reaktivní HiPIMS depoziční systém optimalizovaný pro tenké optické vrstvy
- 1.
SYSNO ASEP 0499948 Druh ASEP L - Prototyp, funkční vzorek Zařazení RIV G - Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek) Poddruh RIV Funkční vzorek Název Reaktivní HiPIMS depoziční systém optimalizovaný pro tenké optické vrstvy Překlad názvu Reactive HiPIMS deposition system optimised for optical thin films Tvůrce(i) Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Kšírová, Petra (FZU-D) RID, ORCID
Straňák, Vítězslav (FZU-D) RID, ORCID
Adámek, Petr (FZU-D) RID, ORCID
Tvarog, Drahoslav (FZU-D) ORCIDRok vydání 2018 Int.kód FVG1/FZU/2018 Technické parametry Mezní tlak plazmového reaktoru: 5 10-8 mbar, maximální střední výkon na jeden magnetron: 1000 W, rozměry terčů magnetronů: 50 mm, maximální výkon do ICP elektrody: 400 W, maximální DC magnetické pole Ekonomické parametry Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum Název vlastníka Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., Oddělení optických a biofyzikálních systémů IČ vlastníka 68378271 Kat.výsl.dle nákl. A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč Požad. na licenč. popl. A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek Číselná identifikace FVG1/FZU/2018 Jazyk dok. cze - čeština Země vlastníka CZ - Česká republika Klíč. slova sputtering ; thin films ; plasma ; deposition ; hollow cathode Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech Obor OECD Fluids and plasma physics (including surface physics) CEP FV20580 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Anotace HiPIMS reaktivní systém se dvěma magnetrony a ICP RF rezonanční elektrodou byl realizován pro depozice optických polovodivých vrstev na plošné optické struktury Překlad anotace HiPIMS reactive system with two magnetrons and ICP RF resonance electrode was realized for the deposition of optical semiconductor thin films on the surface optical structures. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2021
Počet záznamů: 1