Počet záznamů: 1

Estimation of mechanical parameters of thin films using finite element analysis

SYSNO ASEP	0494051
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	D - Článek ve sborníku
Název	Estimation of mechanical parameters of thin films using finite element analysis
Tvůrce(i)	Tinoco Navaro, Hector Andres (UFM-A)_ORCID Holzer, Jakub (UFM-A)_ORCID Pikálek, Tomáš (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Buchta, Zdeněk (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Lazar, Josef (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlupová, Alice (UFM-A)_{RID, ORCID} Kruml, Tomáš (UFM-A)_{RID, ORCID} Hutař, Pavel (UFM-A)_{RID, ORCID}
Celkový počet autorů	8
Zdroj.dok.	Applied Mechanics 2018. - Plzeň : Západočská univerzita v Plzni, 2018 / Lukeš V. ; Rendl J. ; Hajžman M. ; Byrtus M. - ISBN 978-80-261-0766-8
Rozsah stran	s. 157-162
Poč.str.	6 s.
Forma vydání	Tištěná - P
Akce	International Conference Applied Mechanics /20./
Datum konání	09.04.2018 - 11.04.2018
Místo konání	Myslovice
Země	CZ - Česká republika
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	CZ - Česká republika
Klíč. slova	bulge test ; thin film ; finite element analysis ; elastic properties
Vědní obor RIV	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Obor OECD	Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Vědní obor RIV – spolupráce	Ústav přístrojové techniky - Optika, masery a lasery
CEP	EF16_013/0001823 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Institucionální podpora	UFM-A - RVO:68081723 ; UPT-D - RVO:68081731
DOI	10.31224/osf.io/3adt5
Anotace	This study shows a methodology to estimate mechanical parameters of thin films by means of a bulge test and a numerical approach. The methodology is based on the combination of finite element analysis with a classical analytical method. Finite element modelling was conducted for monolayer (Si3N4) membranes of 2x2mm with the aim to approximate both the load-deflection curves experimentally measured and the classical loaddeflection analytical model. Error functions were constructed and minimized to delimit a coupled solution space between Young’s modulus and Poison’s ratio. In a traditional bulge test analysis only one of the elastic properties can be determined due to that there is not unique solution in the estimations of these parameters. However, both elastic parameters were determined through the proposed numerical procedure which compares the deformed surfaces for a specific set of optimal elastic parameters computed. Results shows that the estimated elastic properties agree with corresponding values determined by other methods in the literature
Pracoviště	Ústav fyziky materiálu
Kontakt	Yvonna Šrámková, sramkova@ipm.cz, Tel.: 532 290 485
Rok sběru	2019

Počet záznamů: 1