Počet záznamů: 1
kW-class picosecond thin-disc prepulse laser Perla for efficient EUV generation
- 1.
SYSNO ASEP 0487982 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název kW-class picosecond thin-disc prepulse laser Perla for efficient EUV generation Tvůrce(i) Endo, Akira (FZU-D) RID
Smrž, Martin (FZU-D) RID, ORCID
Mužík, Jiří (FZU-D) ORCID
Novák, Ondřej (FZU-D) RID, ORCID
Chyla, Michal (FZU-D) RID, ORCID
Mocek, Tomáš (FZU-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 6 Číslo článku 041011 Zdroj.dok. Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS - ISSN 1932-5150
Roč. 16, č. 4 (2017), s. 1-6Poč.str. 6 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova EUV source ; laser produced plasma ; FEL ; prepulse ; thin-disc laser Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery Obor OECD Optics (including laser optics and quantum optics) CEP LO1602 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy GA16-12960S GA ČR - Grantová agentura ČR LM2015086 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 UT WOS 000418476800011 EID SCOPUS 85042628721 DOI 10.1117/1.JMM.16.4.041011 Anotace The technology for EUV lithography sources is maturing. LPP sources with usable power >100W have been used in high-volume manufacturing applications and 250-W sources are expected to be introduced in HVM soon. However a further increase of power and cleanness may benefit a powerful picosecond laser in the near-infrared and wavelength converted spectral region. The HiLASE Centre has been working in thin-disc laser technology and has demonstrated a 0.5-kW platform Perla-C based on a very compact Yb:YAG regenerative amplifier. 100-kHz ps operation has been achieved with a fundamental spatial mode and excellent long-term pointing and energy stability.
Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2018
Počet záznamů: 1