Počet záznamů: 1
Diamond thin film technologies: nucleation & growth
- 1.
SYSNO ASEP 0487065 Druh ASEP A - Abstrakt Zařazení RIV O - Ostatní Název Diamond thin film technologies: nucleation & growth Tvůrce(i) Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI Celkový počet autorů 1 Zdroj.dok. KIST-CAS-CEITEC Joint Workshop for Nanotechnology and Nanoscience. - Seoul : KIST, 2017 Poč.str. 1 s. Akce KIST-CAS-CEITEC Joint Workshop for Nanotechnology and Nanoscience Datum konání 03.12.2017 - 06.12.2017 Místo konání Seoul Země KR - Korejská republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. KR - Korejská republika Klíč. slova diamond growth ; nucleation Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus Obor OECD Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.) CEP LM2015087 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy GBP108/12/G108 GA ČR - Grantová agentura ČR Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Anotace The present work encompasses the progress in diamond thin film growth on foreign (non-diamond) substrates at low-pressure using chemical vapor deposition. We will introduce the hybrid HF CVD system with double bias which allows the nucleation by ion bombardment of the conductive substrates at low negative voltages (100÷200 V) where the surface coverage can be simply controlled as the function of process time and process parameters. Next, the ultrasonic seeding employing diamond nanoparticles without/with polymer composite will be pointed out as an effective way to achieve high seeding densities up to 1013 cm-2 and a consequent growth of ultrathin diamond films (<50 nm) on substrates of complex 3D geometries.
Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2018
Počet záznamů: 1