Počet záznamů: 1
Application of low temperature plasma jet systems for the deposition of thin films
- 1.
SYSNO ASEP 0485935 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Application of low temperature plasma jet systems for the deposition of thin films Tvůrce(i) Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Straňák, V. (CZ)
Klusoň, J. (CZ)
Tichý, M. (CZ)
Klusoň, Petr (UCHP-M) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 8 Zdroj.dok. XIXth Symposium on Physics of Switching Arc. - Brno : Brno University of Technology, 2011 / Aubrecht V. - ISBN 978-163266006-0 Rozsah stran s. 47-56 Poč.str. 10 s. Forma vydání Tištěná - P Akce XIXth Symposium on Physics of Switching Arc Datum konání 05.09.2011 - 11.09.2011 Místo konání Brno Země CZ - Česká republika Typ akce EUR Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova plasma jet ; TiO2 thin film ; photocatalytic ; XRD ; IVDF ; RFA Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech Obor OECD Fluids and plasma physics (including surface physics) Vědní obor RIV – spolupráce Ústav chemických procesů - Organická chemie CEP GAP205/11/0386 GA ČR - Grantová agentura ČR KAN400720701 GA AV ČR - Akademie věd Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 ; UCHP-M - RVO:67985858 CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) UT WOS 000393239500005 EID SCOPUS 84901757358 Anotace The low pressure DC pulsed or RF pulsed modulated hollow cathode plasma jets worked on the principle of the reactive sputtering of the hollow cathode usually in the gas mixture of Ar + O2 or N2. The DC pulsed power supplier was applied with combination of the RF source for the plasma jets generation. It was clearly demonstrated that properties of TiO2 and TiO2:N films significantly depended on the plasma parameters. First, the produced films were characterized with the aid of a number of methods (AFM, SEM, XRD, Raman spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), UV–vis spectrometry). Further, the films were judged in terms of their specific optical functionality to generate photocurrents upon being illuminated with spectrally well defined narrow light beams. The parameters of the chemically reactive plasma in the jets were determined using the time-resolved Langmuir probe system. The measurement of the ion energy distribution function was performed by means of the RFA. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2018
Počet záznamů: 1