Počet záznamů: 1  

Exploiting NiTi shape memory alloy films in design of tunable high frequency microcantilever resonators

  1. 1.
    SYSNO ASEP0483361
    Druh ASEPJ - Článek v odborném periodiku
    Zařazení RIVJ - Článek v odborném periodiku
    Poddruh JČlánek ve WOS
    NázevExploiting NiTi shape memory alloy films in design of tunable high frequency microcantilever resonators
    Tvůrce(i) Stachiv, Ivo (FZU-D) RID, ORCID
    Šittner, Petr (FZU-D) RID, ORCID
    Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
    Landa, M. (CZ)
    Heller, Luděk (FZU-D) RID, ORCID
    Celkový počet autorů5
    Číslo článku213105
    Zdroj.dok.Applied Physics Letters. - : AIP Publishing - ISSN 0003-6951
    Roč. 111, č. 21 (2017), s. 1-5
    Poč.str.5 s.
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.US - Spojené státy americké
    Klíč. slovaequipment and apparatus ; microactuators ; smart materials ; continuum mechanics ; sensors
    Vědní obor RIVBM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    Obor OECDCondensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
    CEPGC15-13174J GA ČR - Grantová agentura ČR
    Institucionální podporaFZU-D - RVO:68378271
    UT WOS000416008000025
    EID SCOPUS85035200092
    DOI10.1063/1.4998006
    AnotaceShape memory alloy (SMA) films are very attractive materials for microactuators because of their high energy density. However, all currently developed SMA actuators utilize martensitic transformation activated by periodically generated heating and cooling, therefore, they have a slow actuation speed, just a few Hz, which restricts their use in most of the nanotechnology applications such as high frequency microcantilever based physical and chemical sensors, atomic force microscopes, or RF filters. Here, we design tunable high frequency SMA microcantilevers for nanotechnology applications. They consist of a phase transforming NiTi SMA film sputtered on the common elastic substrate material, in our case, it is a single-crystal silicon.
    PracovištěFyzikální ústav
    KontaktKristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
    Rok sběru2018
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.