Počet záznamů: 1
Supersensitive surface imaging with very slow secondary electrons
- 1.
SYSNO ASEP 0482727 Druh ASEP A - Abstrakt Zařazení RIV Záznam nebyl označen do RIV Zařazení RIV Není vybrán druh dokumentu Název Supersensitive surface imaging with very slow secondary electrons Tvůrce(i) Mikmeková, Šárka (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Konvalina, Ivo (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Tsukiori, D. (JP)
Arai, R. (JP)
Takano, M. (JP)
Okuda, K. (JP)
Müllerová, Ilona (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Frank, Luděk (UPT-D) RID, SAI, ORCIDCelkový počet autorů 8 Zdroj.dok. The 3rd East-Asia Microscopy Conference. Abstract Proceeding. - Seoul : Korean Society of Microscopy, 2017 Poč.str. 1 s. Forma vydání Tištěná - P Akce East-Asia Microscopy Conference /3./ Datum konání 07.11.2017 - 10.11.2017 Místo konání Busan Země KR - Korejská republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. KR - Korejská republika Klíč. slova supersensitive surface ; very slow secondary electrons Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika Obor OECD Materials engineering Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Anotace Secondary electron (SE) imaging is one of the most commonly used mode in a scanning electron microscope (SEM). Recently, the modern SEMs are equipped with highly sophisticated multiple detection systems, which enable sharing of the SEs by two or even three detectors. The SEs become effectively separated based on their initial kinetic energy and emission angle. The filtered SE images give additional information of the specimen and its surface. Figure 1 shows the SE micrographs simultaneously collected by two in-column detectors and a conventional out-lens detector. Obviously, the images collected by the in-column detectors exhibit sensitivity on surface potential as a consequence of the low kinetic energy SEs detection. The out-lens image (SE2) shows the topographic contrast, which is carried by the high energy SEs. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2018
Počet záznamů: 1