Počet záznamů: 1  

STEM modes in SEM – simulations and experiments

  1. 1.
    SYSNO ASEP0481585
    Druh ASEPC - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
    Zařazení RIVD - Článek ve sborníku
    NázevSTEM modes in SEM – simulations and experiments
    Tvůrce(i) Konvalina, Ivo (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Paták, Aleš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Mika, Filip (UPT-D) RID, SAI, ORCID
    Müllerová, Ilona (UPT-D) RID, SAI, ORCID
    Celkový počet autorů4
    Zdroj.dok.13th Multinational Congress on Microscopy: Book of Abstracts. - Zagreb : Ruder Bošković Institute, Croatian Microscopy Society, 2017 / Gajović A. ; Weber I. ; Kovačević G. ; Čadež V. ; Šegota S. ; Peharec Štefanić P. ; Vidoš A. - ISBN 978-953-7941-19-2
    Rozsah strans. 140-141
    Poč.str.2 s.
    Forma vydáníTištěná - P
    AkceMultinational Congress on Microscopy /13./
    Datum konání24.09.2017 - 29.09.2017
    Místo konáníRovinj
    ZeměHR - Chorvatsko
    Typ akceWRD
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.HR - Chorvatsko
    Klíč. slovaSTEM detector ; trajectory simulations ; cathode lens ; collection efficiency
    Vědní obor RIVJA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    Obor OECDElectrical and electronic engineering
    CEPTE01020118 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
    Institucionální podporaUPT-D - RVO:68081731
    AnotaceThe semiconductor STEM detector in the Magellan 400 FEG SEM microscope (www.fei.com) is used to detect transmitted electrons (TE) and allows observing samples in four imaging modes. Two modes of objective lens, namely HR (high resolution) and UHR (ultra high resolution), differ by their resolution and by the presence or absence of a magnetic field around the sample. If the deceleration mode is chosen, cathode lens (CL) field is added, and two further microscope modes can be obtained. The aim of this work is to study the trajectories of the TEs in each mode with regard to their angular and energy distribution. The HR and HR + CL mode is without magnetic field around the sample, for that reason the electrons retain their angular information. In addition, the electrostatic field between the sample and the STEM detector collimates the electrons towards the optical axis. We can detect TEs emitted at a large polar angles with respect to the optical axis. On the other hand, for UHR and UHR + CL modes, the sample is placed in a strong magnetic field. The electrons under the influence of the magnetic field have spiral trajectories and can cross the optical axis plane several times during their path to the detector, thus angular information is not simply interpretable.
    PracovištěÚstav přístrojové techniky
    KontaktMartina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
    Rok sběru2018
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.