Počet záznamů: 1
Quantitative low-energy ion beam characterization by beam profiling and imaging via scintillation screens.
- 1.
SYSNO ASEP 0469204 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Quantitative low-energy ion beam characterization by beam profiling and imaging via scintillation screens. Tvůrce(i) Germer, S. (DE)
Pietag, F. (DE)
Polák, Jaroslav (UFP-V) RID
Arnold, T. (DE)Číslo článku 113301 Zdroj.dok. Review of Scientific Instruments. - : AIP Publishing - ISSN 0034-6748
Roč. 87, č. 11 (2016)Poč.str. 15 s. Forma vydání Tištěná - P Akce Topical Conference on High-Temperature Plasma Diagnostics/21./ Datum konání 05.06.2016 - 09.06.2016 Místo konání Madison Země US - Spojené státy americké Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova Current density ; Etching ; Faraday cups ; Ion beam sources ; Cameras Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech Obor OECD 2.11 Other engineering and technologies Institucionální podpora UFP-V - RVO:61389021 UT WOS 000390242300329 EID SCOPUS 84994267529 DOI 10.1063/1.4964701 Anotace This study presents the imaging and characterization of low-current ion beams in the neutralized state monitored via single crystal YAG:Ce (Y3Al5O12) scintillators. To validate the presented beam diagnostic tool, Faraday cup measurements and test etchings were performed. Argon ions with a typical energy of 1.0 keV were emitted from an inductively coupled radio-frequency (13.56 MHz) ion beam source with total currents of some mA. Different beam properties, such as, lateral ion current density, beam divergence angle, and current density in pulsed ion beams have been studied to obtain information about the spatial beam profile and the material removal rate distribution. We observed excellent imaging properties with the scintillation screen and achieved a detailed characterization of the neutralized ion beam. A strong correlation between the scintillator light output, the ion current density, and the material removal rate could be observed. Pracoviště Ústav fyziky plazmatu Kontakt Vladimíra Kebza, kebza@ipp.cas.cz, Tel.: 266 052 975 Rok sběru 2017
Počet záznamů: 1