Počet záznamů: 1

SMV-2016-03: Přesné reliéfní struktury

SYSNO ASEP	0468373
Druh ASEP	V - Výzkumná zpráva
Zařazení RIV	V – výzkumná zpráva
Název	SMV-2016-03: Přesné reliéfní struktury
Překlad názvu	SMV-2016-03: Precise relief structures
Tvůrce(i)	Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Meluzín, Petr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Král, Stanislav (UPT-D)_{RID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Fořt, Tomáš (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Oulehla, Jindřich (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Šerý, Mojmír (UPT-D)_{RID, SAI}
Celkový počet autorů	10
Vyd. údaje	Brno: TESCAN Brno s.r.o., 2016
Poč.str.	10 s.
Forma vydání	Tištěná - P
Jazyk dok.	cze - čeština
Země vyd.	CZ - Česká republika
Klíč. slova	relief structure ; e-beam lithography ; silicon etching ; microlithography
Vědní obor RIV	BH - Optika, masery a lasery
Další zdroj	neveřejné zdroje
Anotace	Vývoj v oblasti realizace přesných reliéfních struktur pomocí elektronové litografie a dalších ultra precizních mikrovýrobních technik.
Překlad anotace	Research and development in the field of precise relief structures using electron beam lithography and other ultra-precise micro manufacturing techniques.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2017

Počet záznamů: 1