Počet záznamů: 1  

The Simulation of Energy Distribution of Electrons Detected by Segmental Ionization Detector in High Pressure Conditions of ESEM

  1. 1.
    SYSNO ASEP0451532
    Druh ASEPJ - Článek v odborném periodiku
    Zařazení RIVJ - Článek v odborném periodiku
    Poddruh JČlánek ve SCOPUS
    NázevThe Simulation of Energy Distribution of Electrons Detected by Segmental Ionization Detector in High Pressure Conditions of ESEM
    Tvůrce(i) Neděla, Vilém (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Konvalina, Ivo (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Oral, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Hudec, Jiří (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Celkový počet autorů4
    Zdroj.dok.Microscopy and Microanalysis. - : Cambridge University Press - ISSN 1431-9276
    Roč. 21, S4 (2015), s. 264-269
    Poč.str.6 s.
    Forma vydáníTištěná - P
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.US - Spojené státy americké
    Klíč. slovaelectron-gas interactions ; Monte Carlo simulation ; signal amplification ; segmented ionization detector
    Vědní obor RIVJA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    CEPGA14-22777S GA ČR - Grantová agentura ČR
    Institucionální podporaUPT-D - RVO:68081731
    EID SCOPUS84994365267
    DOI10.1017/S1431927615013483
    AnotaceThis paper presents computed dependencies of the detected electron energy distribution on the water vapour pressure in an environmental scanning electron microscope obtained using the EOD software with a Monte Carlo plug-in for the electron-gas interactions. The software GEANT was used for the Monte Carlo simulations of the beam-sample interactions and the signal electron emission from the sample into the gaseous environment. The simulations were carried out for selected energies of the signal electrons collected by two electrodes with two different diameters with the voltages of +350 V and 0, respectively, and then 0 and +350 V, respectively, and for the distance of 2 mm between the sample and the detection electrodes of the ionization detector. The simulated results are verified by experimental measurements. Consequences of the simulated and experimental dependencies on the acquisition of the topographical or material contrasts using our ionization detector equipped with segmented detection electrode are described and discussed.
    PracovištěÚstav přístrojové techniky
    KontaktMartina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
    Rok sběru2016
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.