Počet záznamů: 1
6-axis laser interferometry measurement system for a nanometrology standard
- 1.
SYSNO ASEP 0451173 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV Záznam nebyl označen do RIV Název 6-axis laser interferometry measurement system for a nanometrology standard Tvůrce(i) Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Holá, Miroslava (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCIDCelkový počet autorů 4 Zdroj.dok. Photomechanics 2015. Book of Abstracts and Program. - Delft : Delft University of Technology, 2015 Rozsah stran s. 66-69 Poč.str. 4 s. Forma vydání Tištěná - P Akce Photomechanics 2015 Datum konání 25.05.2015-27.05.2015 Místo konání Delft Země NL - Nizozemsko Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. NL - Nizozemsko Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP GB14-36681G GA ČR - Grantová agentura ČR TA02010711 GA TA ČR - Technologická agentura ČR TA01010995 GA TA ČR - Technologická agentura ČR TE01020233 GA TA ČR - Technologická agentura ČR LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Anotace We present an overview of approaches to the design of nanometrology measuring setups with a focus on methodology of nanometrology interferometric techniques and associated problems. The design and development of a positioning system with interferometric multiaxis monitoring and control involved for scanning probe microscopy techniques (primarily atomic force microscopy, AFM) for detection of the sample profile is presented. Coordinate position sensing allows upgrading the imaging microscope techniques up to quantified measuring. Especially imaging techniques in the micro- and nanoworld overcoming the barrier of resolution given by the wavelength of visible light are a suitable basis for design of measuring systems with the best resolution possible. The system is being developed in cooperation with the Czech metrology institute and it is intended to operate as a national nanometrology standard combining local probe microscopy techniques and sample position control with traceability to the primary standard of length. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2016
Počet záznamů: 1