Počet záznamů: 1
Multitarget sputtering of piezoelectric mixed oxide thin films onto flexible substrates
- 1.
SYSNO ASEP 0450607 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Multitarget sputtering of piezoelectric mixed oxide thin films onto flexible substrates Tvůrce(i) Kleiner, A. (DE)
Suchaneck, G. (DE)
Dejneka, Alexandr (FZU-D) RID, ORCID
Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
Lavrentiev, V. (RU)
Kiselev, D.A. (RU)
Gerlach, G. (DE)Zdroj.dok. Oxide Materials for Electronic Engineering - Fabrication, Properties and Application, vol. 230, Solid State Phenomena. - Pfaffikon : Scientific.Net, 2015 / Ubizskii S. ; Vasylechko L. ; Zhydachevskii Y. - ISSN 1662-9779 - ISBN 978-3-03835-428-4 Rozsah stran s. 3-7 Poč.str. 5 s. Forma vydání Online - E Akce Oxide Materials for Electronic Engineering – Fabrication, Properties and Applications (ОМЕЕ 2014) Datum konání 26.05.2014-30.05.2014 Místo konání Lviv Země UA - Ukrajina Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CH - Švýcarsko Klíč. slova complex oxide film deposition ; PZT ; multitarget reactive magnetron sputtering ; flexible polymer substrate ; XPS ; PFM Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 DOI 10.4028/www.scientific.net/SSP.230.3 Anotace Large area film deposition was performed by means of multitarget reactive magnetron sputtering from metallic targets (Pb, Ti, Zr) with a diameter of 200 mm onto Cu-coated Kapton® HN substrates. High-power pulse sputtering has been employed for the Zr-target (or alternatively for the Ti-target). Film composition profiles were evaluated by XPS and RBS. Piezoelectric properties were investigated by PFM. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2016
Počet záznamů: 1