Počet záznamů: 1
Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů
- 1.
SYSNO ASEP 0449903 Druh ASEP P - Patent Zařazení RIV P - Patent nebo jiný výsledek chráněný podle zvláštních právních předpisů Název Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů Překlad názvu Hybrid plasma nozzle with surface wave for driving highly reactive discharges Tvůrce(i) Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Straňák, Vítězslav (FZU-D) RID, ORCID
Šmíd, Jiří (FZU-D)
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Adámek, Petr (FZU-D) RID, ORCID
Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAIRok vydání 2015 Využití jiným subj. A - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence Lic. popl. A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek Číslo pat.spisu 305482 Datum udělení 09.09.2015 Vlastník patentu Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i Kód vydavatele patentu CZ001 - Úřad průmyslového vlastnictví Prague Využití A - Pouze udělený (dosud nevyužívaný) patent nebo patent využívaný jeho vlastníkem Jazyk dok. cze - čeština Klíč. slova plasma ; discharge ; surfatron ; thin films Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech CEP LH12045 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy TA03010743 GA TA ČR - Technologická agentura ČR Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Anotace Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů je určená zejména pro zabudování do vakuového depozičního systému pro depozice tenkých vrstev obsahujícího vakuovou komoru, v jejímž vnitřním prostoru je instalována plocha pro uložení substrátu a do něhož je zavedena alespoň jedna křemenná pracovní trubice, která je připojena na vnější zdroj pracovního plynu, která je zaústěna do blízkosti plochy pro uložení substrátu a která prochází vně vakuové komory tělem surfatronu, který je napojen na mikrovlnný generátor, vyznačující se tím, že každá pracovní trubice je do vakuové komory zavedena přes křemennou průchodku, která je opatřena křemenným nástavcem orientovaným do vnitřního prostoru vakuové komory, přičemž ve spodní části je pracovní trubice opatřena prstencovou elektrodou, která pracovní trubici obepíná a je elektricky vodivě spojena s vysokofrenvenčním generátorem. Překlad anotace Hybrid plasma jet with surface wave for excitation of high reactive discharges is designed mainly for incorporation in a vacuum deposition system for thin films deposition comprising a vacuum chamber, in the interior of which is installed substrate holder and into which is introduced at least one quartz tube that is connected to an external source of the working gas, which is ended close to substrate holder and which extends outside the vacuum chamber through surfatron body, which is connected to a microwave generator. Each working tube is introduced into the vacuum chamber through a quartz bushing, which is provided with a quartz nozzle facing into interior of the vacuum chamber, the bottom of the tube is provided with an annular working electrode, which surrounds the working tube and is electrically connected with high-frequency generator. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2016 Elektronická adresa http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=10113746
Počet záznamů: 1