Počet záznamů: 1

Measurement of current density distribution in shaped e-beam writers

SYSNO ASEP	0434105
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	D - Článek ve sborníku
Název	Measurement of current density distribution in shaped e-beam writers
Tvůrce(i)	Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Bok, Jan (UPT-D)_RID Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Urbánek, Michal (UPT-D)_RID Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Celkový počet autorů	6
Zdroj.dok.	18th International Microscopy Congres. Proceedings. - Praha : Czechoslovak Microscopy Society, 2014 - ISBN 978-80-260-6720-7
Poč.str.	2 s.
Forma vydání	Online - E
Akce	International Microscopy Congres /18./
Datum konání	07.09.2014-12.09.2014
Místo konání	Praha
Země	CZ - Česká republika
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	CZ - Česká republika
Klíč. slova	e-beam writer ; current density
Vědní obor RIV	JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
CEP	LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	TE01020118 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Anotace	The ZrO W(100) Schottky cathode is used in our e-beam writing system working with a rectangular-shaped electron beam. The homogeneous angular current density distribution is crucial for quality of exposures of the shaped beam lithography systems. Two basic types of the angular emission distribution can be observed in dependence on the microscopic final end form shape of the emitter tip, with bright centre and more common dark centre. The stable operation of the cathode thus stable end form shape requires a delicate balance of parameters inside the gun which however can slightly change during cathode life time. This implies the necessity of analysing and periodical monitoring the current density distribution in e-beam. Four methods enabling this measurement are presented.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2015

Počet záznamů: 1