Počet záznamů: 1

Metody zápisu nanostruktur rastrovací sondou

SYSNO ASEP	0433910
Druh ASEP	J - Článek v odborném periodiku
Zařazení RIV	J - Článek v odborném periodiku
Poddruh J	Článek ve WOS
Název	Metody zápisu nanostruktur rastrovací sondou
Překlad názvu	Scanning Probe Nanolithography Methods
Tvůrce(i)	Urbánek, Michal (UPT-D)_RID Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Celkový počet autorů	5
Zdroj.dok.	Chemické listy. - : Česká společnost chemická - ISSN 0009-2770 Roč. 108, č. 10 (2014), s. 937-941
Poč.str.	5 s.
Forma vydání	Tištěná - P
Jazyk dok.	cze - čeština
Země vyd.	CZ - Česká republika
Klíč. slova	scanning probe lithography ; local anodic oxidation ; nanoscratching ; atomic force microscopy
Vědní obor RIV	JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
CEP	LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
UT WOS	000344829300003
Anotace	Moderní průmysl a technologie neustále zvyšuje svoje požadavky na vytváření drobných struktur, jejichž rozměry jsou v nanometrovém rozlišení. Technika mikroskopie v blízkém poli, tedy i AFM (atomic force microscopy - mikroskopie atomárních sil) prodělala během posledních dvou desetiletí velký rozvoj, co se týká měření, ale i opracováním povrchů a vytváření různých nanostruktur. Byly vyvinuty různé techniky využívající zařízení AFM k přípravě struktur v nano rozměrech. Tyto techniky jsou označovány jako SPL (scanning probe lithography - litografie rastrující sondou) a jsou používány k vytváření nanostruktur a nanozařízení v různých materiálech (kovy, oxidy, polovodiče, ale také polymerní materiály). Lze jimi připravovat různé tvary od jednotlivých bodů, čar a mřížek až po 3D struktury s rozmněry od desítek až po stovky nanometrů. Takto připravené struktury pak mohou vykazovat zcela nové vlastnosti (např. větší katalytickou aktivitu) díky velkému poměru plochy k objemu těchto struktur. Zápis struktur v těchto rozměrech umožňuje dosáhnout vysoké hodnoty poměru jejich hustoty na jednotkovou plochu povrchu, čehož se dá využít k větší kapacitě uchovaných dat nebo ke zvětšení počtu senzorů na stejně velké ploše (např. v biomedicínských aplikacích).
Překlad anotace	AFM (atomic force microscopy) nanolithography can be used for preparation of nanostructures in various fields such as nanodevices, nanoantenas and biosensors. Several methods of AFM nanolithography (local anodic, oxidation, electron resist exposure, dip pen nanolithography, and nanoscratching), their advantages and essential properties are described.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2015

Počet záznamů: 1