Počet záznamů: 1  

Variable shape E-beam writing: proximity effect simulation and correction of binary and relief structures

  1. 1.
    SYSNO ASEP0429463
    Druh ASEPA - Abstrakt
    Zařazení RIVZáznam nebyl označen do RIV
    Zařazení RIVNení vybrán druh dokumentu
    NázevVariable shape E-beam writing: proximity effect simulation and correction of binary and relief structures
    Tvůrce(i) Urbánek, Michal (UPT-D) RID
    Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Bok, Jan (UPT-D) RID
    Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Mikšík, P. (CZ)
    Vašina, J. (CZ)
    Celkový počet autorů9
    Zdroj.dok.39th International Conference on Micro and Nano Engineering MNE2013. Book of Abstracts. - Cambridge : University of Cambridge, 2013
    S. 582
    Poč.str.1 s.
    Forma vydáníTištěná - P
    AkceMNE2013. International Conference on Micro and Nano Engineering /39./
    Datum konání16.09.2013-19.09.2013
    Místo konáníLondon
    ZeměGB - Velká Británie
    Typ akceWRD
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.GB - Velká Británie
    Klíč. slovarectangular shaped beam ; proximity effect simulation ; binary structures and relief structures
    Vědní obor RIVJA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    Institucionální podporaUPT-D - RVO:68081731
    AnotaceDuring the e-beam writing, several effects occur, which can significantly change the desired resolution of designed patterns. The final pattern is mostly affected by two scattering effects in resist layer and substrate: forward scattering and backscattering. Due to this electron scattering effects, the exposed patterns can be significantly broader than the designed. This phenomenon, called proximity effect, causes that areas adjacent to the exposed ones receive nonzero electron dose and thus pattern can vary from the intended size.
    PracovištěÚstav přístrojové techniky
    KontaktMartina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
    Rok sběru2015
Počet záznamů: 1