Počet záznamů: 1

Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu

SYSNO ASEP	0424549
Druh ASEP	L - Prototyp, funkční vzorek
Zařazení RIV	G - Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)
Poddruh RIV	Funkční vzorek
Název	Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu
Překlad názvu	An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma
Tvůrce(i)	Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Adámek, Petr (FZU-D)_{RID, ORCID} Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID}
Rok vydání	2013
Int.kód	IONEU2013
Technické parametry	Vyvinutá aparatura umožňuje měřit tok (depoziční rychlost) neutrálních nebo nabitých částic na substrát. K tomuto účelu je využito QCM čidlo s možností přivedení předpětí opatřené vhodně zvoleným magneickým polem na vstupu QCM čidla
Ekonomické parametry	Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
Název vlastníka	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
IČ vlastníka	68378271
Kat.výsl.dle nákl.	A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč
Využ. jiným subjektem	A - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požad. na licenč. popl.	A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek
Číselná identifikace	IONEU2013
Jazyk dok.	cze - čeština
Země vlastníka	CZ - Česká republika
Klíč. slova	deposition rate ; neutral/ion flux ratio ; magnetic field ; QCM sensor
Vědní obor RIV	BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
CEP	TA01010517 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
Anotace	V rámci řešení projektu TA01010517 jsme vyvinuli nové měřící zařízení umožňující stanovit depoziční rychlost neutrálních nebo ionizovaných částic dopadajících na substrát. Homogenní magnetické pole na vstupu QCM sensoru umožňuje efektivně potlačit průnik elektronů do oblasti sensoru.
Překlad anotace	Within the project TA01010517, we have developed a new measuring device enabling to determine deposition rate both neutral or ionized particles reaching substrate. Homogeneous magnetic field at the entrance orifice of the QCM sensor enables effectively suppress electron flux on the quartz sensor.
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2014

Počet záznamů: 1