Počet záznamů: 1

Performances of microwave plasma generation in linear antenna configuration

SYSNO ASEP	0424334
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	D - Článek ve sborníku
Název	Performances of microwave plasma generation in linear antenna configuration
Tvůrce(i)	Potocký, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Rezek, Ondřej (FZU-D) Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Babchenko, Oleg (FZU-D)_{RID, ORCID} Ižák, Tibor (FZU-D)_RID Varga, Marián (FZU-D)_{RID, ORCID} Kromka, Alexander (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Perspektívne vákuové metódy a technológie (Perspective vacuum methods and technologies). - Bratislava : Slovenská vákuová spoločnosť, 2013 / Vojs M. ; Veselý M. ; Vincze A. - ISBN 978-80-971179-2-4
Rozsah stran	s. 42-46
Poč.str.	5 s.
Forma vydání	Tištěná - P
Akce	School of Vacuum Technology /16./ (Perspektívne vákuové metódy a technológie. Perspective vacuum methods and technologies)
Datum konání	10.10.2013-13.10.2013
Místo konání	Štrbské Pleso
Země	SK - Slovensko
Typ akce	EUR
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	SK - Slovensko
Klíč. slova	microwave plasma ; linear antena ; CVD deposition
Vědní obor RIV	BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
CEP	TA01011740 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
	GAP205/12/0908 GA ČR - Grantová agentura ČR
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
Anotace	The versatility of linear antenna MW plasma system for growth of carbon allotropes was previously shown. Utilization of commercially available deposition systems brings advantages of strong technological background, cost effectiveness and usually easy further up-scaling. On the other hand, these systems need special modifications and deeper understanding of ongoing processes when used for scientific research. In this article we studied the behavior of plasma generation by two independent pulsed MW generators. We have shown how to overcome a problem of missing trigger outputs from the pulsed MW generators for realization of time resolved measurements. We have also shown that in the studied system exist the 33 min period during which originally synchronized pulses detune each from other and synchronize back creating also an interval of time when plasma does not extinguish.
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2014

Počet záznamů: 1