Počet záznamů: 1

Characterization of microwave surface wave plasma in linear configuration and growth of nano-sized carbon allotropes

SYSNO ASEP	0424263
Druh ASEP	A - Abstrakt
Zařazení RIV	Záznam nebyl označen do RIV
Zařazení RIV	Není vybrán druh dokumentu
Název	Characterization of microwave surface wave plasma in linear configuration and growth of nano-sized carbon allotropes
Tvůrce(i)	Potocký, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Babchenko, Oleg (FZU-D)_{RID, ORCID} Ižák, Tibor (FZU-D)_RID Davydova, Marina (FZU-D)_{RID, ORCID} Rezek, Bohuslav (FZU-D)_{RID, ORCID} Kromka, Alexander (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	537. WE Heraeus Seminar. Physics of Ionized and Ion-Assisted PVD: Principles and Current Trends. - Dresden : Wilhelm und Else Heraeus-Stiftung, 2013 / Gemming S. ; Abrasonis G. ; Vinnichenko M. S. 75-76
Poč.str.	2 s.
Akce	WE-Heraeus-Seminar /537./ - Physics of Ionized and Ion-Assisted PVD: Principles and Current Trends
Datum konání	26.06.2013-28.06.2013
Místo konání	Dresden
Země	DE - Německo
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	DE - Německo
Klíč. slova	microwave plasma ; CVD deposition
Vědní obor RIV	BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
CEP	TA01011740 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
	LM2011026 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	GAP205/12/0908 GA ČR - Grantová agentura ČR
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
Anotace	Recently design and optimization of the microwave plasma CVD techniques has reached matured state. Design and optimization of microwave plasma reactors is dominated by high pressure systems (10 to 100kPa).
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2014

Počet záznamů: 1