Počet záznamů: 1

Collection of signal electrons in Low Energy SEM

SYSNO ASEP	0420975
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	Záznam nebyl označen do RIV
Název	Collection of signal electrons in Low Energy SEM
Tvůrce(i)	Konvalina, Ivo (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Müllerová, Ilona (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID}
Celkový počet autorů	2
Zdroj.dok.	Microscopy conference (MC) 2013. Proceedings, 2. - Regensburg : University of Regensburg, 2013
Rozsah stran	s. 327-328
Poč.str.	2 s.
Forma vydání	Online - E
Akce	Microscopy Conference 2013
Datum konání	25.08.2013-30. 08.2013
Místo konání	Regensburg
Země	DE - Německo
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	DE - Německo
Klíč. slova	signal collection ; low energy SEM ; trajectory simulations
Vědní obor RIV	JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
CEP	EE2.4.31.0016 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Anotace	Modern scanning electron microscopes (SEM) are equipped with a field emission gun and the specimen is usually immersed in a strong magnetic field in order to reach high resolution. Low energy SEM equipped by a beam deceleration system, e.g. cathode lens (CL), can obtain spot size below 10 nm for landing energy of units of eV. Low energy SEM with a cathode lens has to be combined with a focusing lens. Magnetic or immersion-magnetic focusing lenses (with weak or strong magnetic field in the specimen plane, respectively) are used in our simulations. These two alternatives are compared with regard to their influence on signal electrons.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2014

Počet záznamů: 1