Počet záznamů: 1

Perspectives in diamond thin film technology

SYSNO ASEP	0398413
Druh ASEP	K - Konferenční příspěvek (lokální konf.)
Zařazení RIV	Záznam nebyl označen do RIV
Název	Perspectives in diamond thin film technology
Tvůrce(i)	Kromka, Alexander (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI}
Celkový počet autorů	1
Zdroj.dok.	Proceedings of the 3rd Winter Education Seminar in Rokytnice nad Jizerou 2012. - Praha : FZÚ AV ČR, v.v.i, 2012 / Hoďáková L. ; Remeš Z. ; Kromka A. ; Ledinský M. - ISBN 978-80-260-3425-4 S. 50-65
Poč.str.	11 s.
Akce	Winter Education Seminar /3. /
Datum konání	01.02.2012 -04.02. 2012
Místo konání	Rokytnice nad Jizerou
Země	CZ - Česká republika
Typ akce	CST
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	CZ - Česká republika
Klíč. slova	nanocrystalline diamond ; nucleation of NCD ; growth of NCD ; MW-PECVD
Vědní obor RIV	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP	GBP108/12/G108 GA ČR - Grantová agentura ČR
	IAAX00100902 GA AV ČR - Akademie věd
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
Anotace	Synthetic diamond thin films are routinely grown over world not only for basic research but also for industrial uses. At the Institute of Physics (IoP), diamond thin films are grown since 2002. The first installed deposition system is base on microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (CVD) in hydrogen reach gas mixture (<2% methane diluted in hydrogen). This system is well suitable for fast growth of high quality diamond films up to 5 cm in diameter. The main advance of the system is cavity like resonator which allows running stable CVD process for several days at relatively high pressures (>200 mbar).
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2014

Počet záznamů: 1