Počet záznamů: 1
Perspectives in diamond thin film technology
- 1.
SYSNO ASEP 0398413 Druh ASEP K - Konferenční příspěvek (lokální konf.) Zařazení RIV Záznam nebyl označen do RIV Název Perspectives in diamond thin film technology Tvůrce(i) Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI Celkový počet autorů 1 Zdroj.dok. Proceedings of the 3rd Winter Education Seminar in Rokytnice nad Jizerou 2012. - Praha : FZÚ AV ČR, v.v.i, 2012 / Hoďáková L. ; Remeš Z. ; Kromka A. ; Ledinský M. - ISBN 978-80-260-3425-4
S. 50-65Poč.str. 11 s. Akce Winter Education Seminar /3. / Datum konání 01.02.2012 -04.02. 2012 Místo konání Rokytnice nad Jizerou Země CZ - Česká republika Typ akce CST Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova nanocrystalline diamond ; nucleation of NCD ; growth of NCD ; MW-PECVD Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP GBP108/12/G108 GA ČR - Grantová agentura ČR IAAX00100902 GA AV ČR - Akademie věd Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Anotace Synthetic diamond thin films are routinely grown over world not only for basic research but also for industrial uses. At the Institute of Physics (IoP), diamond thin films are grown since 2002. The first installed deposition system is base on microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (CVD) in hydrogen reach gas mixture (<2% methane diluted in hydrogen). This system is well suitable for fast growth of high quality diamond films up to 5 cm in diameter. The main advance of the system is cavity like resonator which allows running stable CVD process for several days at relatively high pressures (>200 mbar). Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2014
Počet záznamů: 1