Počet záznamů: 1
Interferometric coordinates measurement sytem for local probe microscopy nanometrology
- 1.
SYSNO ASEP 0397860 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Interferometric coordinates measurement sytem for local probe microscopy nanometrology Tvůrce(i) Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Klepetek, P. (CZ)
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Čížek, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Holá, Miroslava (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Šerý, Mojmír (UPT-D) RID, SAICelkový počet autorů 7 Zdroj.dok. NANOCON 2013, 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE. - Ostrava : TANGER Ltd, 2014 - ISBN 978-80-87294-47-5 Poč.str. 6 s. Forma vydání Nosič - C Akce NANOCON 2013. International Conference /5./ Datum konání 16.10.2013-18.10.2013 Místo konání Brno Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova Nanometrology ; Interferometry ; Traceability ; Local probe microscopy ; Nanopositioning Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery Obor OECD Optics (including laser optics and quantum optics) CEP GPP102/11/P820 GA ČR - Grantová agentura ČR FR-TI2/705 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu TA01010995 GA TA ČR - Technologická agentura ČR TA02010711 GA TA ČR - Technologická agentura ČR TE01020233 GA TA ČR - Technologická agentura ČR ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy EE2.4.31.0016 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 UT WOS 000352070900143 Anotace We present an overview of new approaches to the design of nanometrology measuring system with a focus on methodology of nanometrology interferometric techniques and associated problems. The design and development of a nanopositioning setup with interferometric multiaxis monitoring and control involved for scanning probe microscopy techniques (primarily atomic force microscopy, AFM) for detection of the sample profile is presented. Coordinate position sensing allows upgrading the imaging microscope techniques up to quantified measuring. Especially imaging techniques in the micro- and nanoworld overcoming the barrier of resolution given by the wavelength of visible light are a suitable basis for design of measuring systems with the best resolution possible. The system is being developed in cooperation with the Czech metrology institute and it is intended to operate as a national nanometrology standard combining local probe microscopy techniques and sample position control with traceability to the primary standard of length. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2019
Počet záznamů: 1