Počet záznamů: 1
From micro- to nanocrystalline diamond films
- 1.
SYSNO ASEP 0390465 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název From micro- to nanocrystalline diamond films Tvůrce(i) Ižák, Tibor (FZU-D) RID
Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Potocký, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Marton, M. (SK)
Veselý, M. (SK)Zdroj.dok. Proceeding of School of Vacuum Technology - Vacuum and Advanced Materials. - Bratislava : Slovenská vákuová spoločnosť, 2011 / Varga M. ; Veselý M. - ISBN 978-80-969435-9-3 Rozsah stran s. 14-19 Poč.str. 6 s. Forma vydání Tištěná - P Akce School of Vacuum Technology - Vacuum and Advanced Materials Datum konání 08.09.2011-11.09.2011 Místo konání Štrbské Pleso Země SK - Slovensko Typ akce EUR Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. SK - Slovensko Klíč. slova nanocrystalline ; microcrystalline diamond ; MWCVD ; Raman ; SEM Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP MEB0810082 GA MŠk - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy KAN400100701 GA AV ČR - Akademie věd IAAX00100902 GA AV ČR - Akademie věd MEB0810081 GA MŠk - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy CEZ AV0Z10100521 - FZU-D (2005-2011) Anotace In this study we compare different methods to deposit nanocrystalline diamond (NCD) films with low surface roughness required for various applications. Bias enhanced re-nucleation, argon and CO2 addition, CH4/H2 ratio variation and the influence of the pressure are mentioned. For diamond films deposition three different systems were used: (i) double bias enhanced hot filament chemical vapour deposition (HFCVD), (ii) focused microwave plasma (FMWP) and (iii) pulsed linear antenna microwave plasma (PLAMWP) system. The grain size and surface morphology of samples were evaluated from SEM (Scanning Electron Microscopy) images. The processes, which take place during the diamond deposition, are discussed in the article. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2013
Počet záznamů: 1