Počet záznamů: 1

Automatizovaný systém kontroly průtoků pracovních plynů v MW plazmovém systému PLASMASTR02 s proudícími plazmovými kanály

SYSNO ASEP	0390208
Druh ASEP	L - Prototyp, funkční vzorek
Zařazení RIV	G - Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)
Poddruh RIV	Funkční vzorek
Název	Automatizovaný systém kontroly průtoků pracovních plynů v MW plazmovém systému PLASMASTR02 s proudícími plazmovými kanály
Překlad názvu	Automatic system of mass flow control of working gasses in MW plasma system PLASMASTR02 with plasma jet channels
Tvůrce(i)	Šmíd, Jiří (FZU-D) Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID} Lukašík, P. (CZ) Piják, A. (CZ) Dolák, J. (CZ) Martinek, P. (CZ) Pitrun, J. (CZ) Rek, Š. (CZ) Konečný, L. (CZ) Mareš, G. (CZ) Štepánek, J. (CZ) Jakeš, J. (CZ) Křenek, Z. (CZ) Joštic, M. (CZ) Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Straňák, Vítězslav (FZU-D)_{RID, ORCID} Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Babchenko, Oleg (FZU-D)_{RID, ORCID} Kromka, Alexander (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Potocký, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID}
Rok vydání	2012
Int.kód	PST2/FZÚ-SVCS/2012
Technické parametry	Počet regulačních větví 6. Rozsah průtokoměrů Ar 200 sccm. Rozsah průtokoměrů O2 200 sccm. Rozsah průtokoměrů H2 500 sccm. Rozsah průtokoměrů CO2 500 sccm. Řídící systém MTS04 - Digital 6xIn/8xOut. Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: PST2/FZÚ-SVCS/2012.
Ekonomické parametry	Bude použitý v realizovaném systému jako výstupu projektu TAČR, který bude pak komerčně vyráběný
Název vlastníka	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - SVCS Process Innovation s.r.o.
IČ vlastníka	68378271
Kat.výsl.dle nákl.	A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč
Využ. jiným subjektem	A - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požad. na licenč. popl.	A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek
Číselná identifikace	Smlouva o spolupráci mezi SVCS Process Inovation s.r.o. a FZU AV ČR ze dne 14.2.2011
Jazyk dok.	cze - čeština
Země vlastníka	CZ - Česká republika
Klíč. slova	microwave ; surfatron ; thin films ; vacuum reactor ; plasma ; deposition ; plasma jet ; flowmeter
Vědní obor RIV	BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
CEP	TA01011740 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
Anotace	V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli automatizovaný systém kontroly průtoku plynu a jejich směsí v plazmovém reaktoru s lineární řadou MW plazmových kanálů s povrchovou vlnou.
Překlad anotace	In frame of grant TACR, we have developed automatic control of gas flow and their mixtures in plasmatic PECVD reactor with linear structure of MW plasma jet excited with surface wave.
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2013

Počet záznamů: 1